三星DRAM路线图大变天!混合键合扶正为首个亚10nm节点:HBM5量产时间锁定
最新9月29日消息,据报道,三星电子近期修改了下一代DRAM开发路线图,将原本以研究项目形式推进的“B1b”技术正式纳入路线图,并接管“D0a”这一名称——即三星首个10纳米以下的DRAM节点。原先对应D0a的垂直通道晶体管(VCT)方案则被降级为派生版本,改称“D0a-V”。
B1b的核心是晶圆对晶圆混合键合技术。它将DRAM的存储单元和外围驱动电路分别在两块晶圆上制造,再通过铜对铜直接键合将二者贴合,形成“单元在上、外围在下”的结构。

相比传统将单元与外围电路集成在同一晶圆上的做法,这种结构更有利于密集排布存储单元,也允许单元和外围电路各自采用最优化的制程。
三星此次调整,意在加速将先进封装技术引入通用DRAM。
混合键合此前已在CMOS图像传感器和400层以上3D NAND制造中得到量产验证,三星今年3月也已用4F²加VCT结构在10a节点上做出可工作的芯片,其外围电路晶圆同样通过混合键合与单元晶圆集成。
换言之,混合键合本身不是新赌注,而是一个有良率数据支撑的平台型技术。
据知情人士透露,B1b真正进入量产轨道最快也需约两年时间,具体的量产投资计划预计将在2027年年中敲定。三星正平行开发两种首代亚10nm级DRAM节点,计划在第7代10nm级的1dnm后导入。
这一路线调整与三星的HBM战略高度咬合。三星正在评估将B1b应用于HBM5(第八代高带宽内存),HBM5预计2029年前后量产,目标是将运行速度较HBM4E提升50%以上。HBM5的基础芯片将采用2纳米GAA环绕栅极工艺制造,搭配更高集成度的TSV硅通孔技术。
三星正在平泽园区建设配备约50台混合键合设备的量产线,设备交付安装预计2026年底启动,大规模量产则指向2029至2030年,恰好对应英伟达下一代AI芯片Feynman采用HBM5的窗口。
不过,JEDEC正在研议放宽HBM封装厚度规范,使HBM4E仍可沿用现有热压键合技术,这可能让混合键合在HBM上的全面商用时间进一步延后至HBM5世代。
混合键合的成本挑战不容忽视。该技术需要以晶圆对晶圆模式堆叠,若前端生产良率过低,整体生产将不具经济效益。
此外,混合键合还面临微粒控制等技术难题,单位投资金额也将显著提升。下一代DRAM的价格,预计将因此进一步走高。

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